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SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥,可實(shí)現(xiàn)高水平的氣流控制。作為一種多功能組件,SEC-E 系列質(zhì)量流量控制器可用于各種行業(yè)。
S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。S600系列可以控制廣泛的流量:從3 SCCM到500 SLM,并具有各種類(lèi)型的通信可用,即模擬、RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™和EtherCAT®。
SEC-Z700X系列壓力補(bǔ)償質(zhì)量流量控制器配備了可靠的熱傳感器和壓力補(bǔ)償功能,可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。
SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能,用戶能夠快速方便地現(xiàn)場(chǎng)更改氣體類(lèi)型或滿量程流量。
新型壓力補(bǔ)償質(zhì)量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開(kāi)發(fā)的熱傳感器和壓力補(bǔ)償功能,可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測(cè)量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。
壓差式質(zhì)量流量控制器 D500這款技術(shù)優(yōu)良的質(zhì)量流量控制器具備壓差檢測(cè)功能和壓電驅(qū)動(dòng)閥。 CRITERION D500 適用于一系列優(yōu)良的半導(dǎo)體制程,具有壓力補(bǔ)償,多量程/多氣體/多壓力,G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn))自診斷功能,高精度、快速響應(yīng)、寬量程、全金屬等特點(diǎn)。
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