SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。

產(chǎn)品型號：SEC-Z500X

更新時間：2025-04-07

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產(chǎn)品介紹

品牌	HORIBA/堀場	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件
動態(tài)范圍	0.05～50 SLM（支持多量程切換）	支持氣體	N?、H?、Ar、O?、He、CO?、CF? 等常見工藝氣體
控制精度	±1.0%	響應(yīng)時間	≤1 秒
通信接口	RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA）	使用溫度	5～50°C
工作壓力	≤0.5 MPa（參考氣體不同略有差異）	接口類型	1/4

HORIBA SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是一款高性能多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC），專為半導(dǎo)體、化學(xué)氣相沉積（CVD）、等離子體蝕刻及其他高精度氣體控制應(yīng)用設(shè)計。其核心優(yōu)勢在于多氣體、多量程、快速響應(yīng)與高精度控制的結(jié)合，極大提高了設(shè)備兼容性與工藝靈活性。

產(chǎn)品特點

多氣體/多量程支持
內(nèi)置多種氣體校準參數(shù)與多檔滿量程設(shè)置（Multi-Gas/Multi-Range，MG/MR），可通過配置軟件靈活切換氣體類型及流量范圍，無需更換設(shè)備。
高速響應(yīng)性能
借助 HORIBA 的“可變 PID 控制技術(shù)"，實現(xiàn) 1 秒內(nèi)響應(yīng)至設(shè)定流量值，提升生產(chǎn)效率。
高精度控制
利用非線性多項式曲線補償，實現(xiàn) ±1% S.P. 的控制精度，確保工藝穩(wěn)定性。
多種通信接口可選
支持 DeviceNet™、EtherCAT®、RS-485、模擬電壓/電流信號等，便于系統(tǒng)集成。
緊湊設(shè)計，安裝方便
緊湊型模塊設(shè)計適合狹小空間的機柜或管道系統(tǒng)，無需改動原有布局。
遠程配置與診斷
支持通過 HORIBA 提供的軟件進行參數(shù)設(shè)定、氣體/流量切換、狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷。

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)	數(shù)值
控制范圍	0.05～50 SLM（支持多量程切換）
支持氣體	N?、H?、Ar、O?、He、CO?、CF? 等常見工藝氣體
控制精度	±1.0% S.P.（設(shè)定點）
響應(yīng)時間	優(yōu)于 ±1.0% F.S.
重復(fù)性	≤1 秒（0～設(shè)定點）
通信接口	RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA）
工作壓力	≤0.5 MPa（參考氣體不同略有差異）
使用溫度	5～50°C
接口類型	1/4" VCR® / Swagelok® 可選
電源要求	+15～+24V DC，最大3W
認證標準	SCE、RoHS、SEMI 等