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HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質量流量控制器 是日本堀場(HORIBA)旗下 SEC-N100 系列數字式氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC) 的代表型號之一。
HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能數字式質量流量控制器,隸屬于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。該系列產品專為半導體制造、光通信、精密氣體控制實驗室等對氣體流量要求較高的工業場景設計,具備高精度、多通信協議支持和快速響應等特點。
HORIBA 氣體質量流量計 SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數字式質量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),隸屬于 HORIBA Z500X 系列,廣泛應用于半導體制造、光通信、精密氣體控制實驗室等對氣體流量要求較高的工業場景。
SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能數字式質量流量控制器(MFC),隸屬于 SEC-Z500X 系列,專為半導體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設計。
HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質量流量控制器 隸屬于 SEC-Z500X 系列,專為半導體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設計。
HORIBA GR-511F 是一款專為半導體制造工藝設計的晶圓背面冷卻系統 壓力控制器,主要用于在靜電吸盤(ESC)環境中控制氦氣或氬氣的背面壓力與流量,以保持晶圓背面的溫度均勻性與熱交換效率。