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            PRODUCT CENTER

            產品中心

            當前位置:首頁產品中心在線分析儀器質量流量計HORIBASEC-E 系列數字質量流量控制器

            SEC-E 系列數字質量流量控制器
            產品簡介:

            SEC-E 系列數字質量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥,可實現高水平的氣流控制。作為一種多功能組件,SEC-E 系列質量流量控制器可用于各種行業。

            產品型號:HORIBA

            更新時間:2025-04-07

            廠商性質:代理商

            訪問量:214

            服務熱線

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            產品介紹
            品牌HORIBA/堀場價格區間面議
            產品種類差壓式介質分類氣體
            產地類別進口應用領域環保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
            控制范圍10 SCCM 至 200 SLM支持氣體多種標準及特殊氣體
            控制精度±1.0%響應時間≤1秒
            通信接口模擬、RS485、DeviceNet、PROFIBUS

            HORIBA SEC-E 系列數字質量流量控制器

            產品概述

            HORIBA SEC-E 系列數字質量流量控制器(Mass Flow Controller,簡稱 MFC),適用于各種工業與科研應用。該系列產品通過熱式傳感器檢測氣體流量,并搭配高響應電磁閥進行精準控制,支持多種氣體類型與廣泛的流量范圍,性能穩定,控制精度高。

            產品特點

            • 高精度熱式傳感器
              內置熱傳感器可實現實時流量測量,確保流量控制的高精度與重復性。

            • 電磁閥控制
              快速響應的電磁閥結構,具備良好的流量調節能力,適合動態工況。

            • 多氣體兼容性
              支持多種標準及特種氣體,如 N?、O?、Ar、He、H?、CO? 等。

            • 寬流量控制范圍
              控制范圍從 10 SCCM 至 200 SLM,涵蓋從實驗室級別到工業規模的多種需求。

            • 數字/模擬信號兼容
              提供模擬 (0–5V, 4–20mA) 和數字通訊(RS485, DeviceNet, PROFIBUS)接口,便于系統集成。

            • 緊湊設計,易于安裝
              模塊化結構,體積小,適合集成到各類設備或系統中。

            技術規格


            參數數值
            可控氣體種類多種標準及特殊氣體
            流量控制范圍10 SCCM ~ 200 SLM(以 N? 為基準)
            控制精度±1.0% F.S.(標準型)
            重復精度±0.2% F.S.
            響應時間≤1 秒
            通訊方式模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS
            供電電壓±15VDC 或 +24VDC
            接頭類型1/4" Swagelok, VCR, 面密封等多種可選
            操作溫度范圍5 ~ 50°C














            SEC-E 系列數字質量流量控制器


            適用場景

            半導體制造

            • 薄膜沉積(CVD, PVD)

            • 離子注入

            • 等離子蝕刻

            • 光刻工藝輔助

            工業控制

            • 氣體混合系統

            • 燃燒器氣體配比

            • 工業氣體監控

            科研實驗

            • 氣體傳感器實驗

            • 微反應器進氣控制

            • 生物技術及制藥行業實驗


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