SEC-Z700X系列壓力補(bǔ)償質(zhì)量流量控制器配備了可靠的熱傳感器和壓力補(bǔ)償功能，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。

SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。

新型壓力補(bǔ)償質(zhì)量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補(bǔ)償功能，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。

壓差式質(zhì)量流量控制器 D500這款技術(shù)優(yōu)良的質(zhì)量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅(qū)動閥。 CRITERION D500 適用于一系列優(yōu)良的半導(dǎo)體制程，具有壓力補(bǔ)償，多量程/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn)）自診斷功能，高精度、快速響應(yīng)、寬量程、全金屬等特點(diǎn)。

HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該質(zhì)量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。