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產(chǎn)品中心在線分析儀器質(zhì)量流量計SEC-N100數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號：SEC-N100
更新時間：2025-04-07
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：472
服務熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | HORIBA/堀場 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
| 控制范圍 | 10 SCCM 至 1000 SLM多種量程可選 | 通信模式和電源 | 多種可選 |
| 精度 | +/- 1.0% | 響應時間 | 1s |
| 功能 | 多氣體/多量程 |
SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應用于半導體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。該系列支持多種通信協(xié)議，具有較高的精度、快速響應能力和強大的多氣體、多量程適應能力，是新一代工藝控制系統(tǒng)的理想選擇。
支持多種通信方式
數(shù)字/模擬通信
DeviceNet™
CC-Link™
PROFIBUS™
EtherCAT®
高精度流量控制
控制精度達 ±1.0% of Set Point (*1)
重復性好，穩(wěn)定性高
快速響應性能
響應時間：≤1秒（T98）
可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩(wěn)定輸出
多氣體/多量程功能
支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設(shè)定
降低庫存成本，提高設(shè)備通用性和靈活性
高可靠性設(shè)計
無運動部件結(jié)構(gòu)，可靠性更高，適合長期穩(wěn)定運行
緊湊型設(shè)計，適配多種系統(tǒng)集成環(huán)境
| 規(guī)格 | 選擇通信模式 | 選擇電源 |
| SEC-N102 系列 | 數(shù)字通信 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬通信 ?0?5VDC | ±15VDC（±5%） HORIBA的陣容包括租賃電源PE系列。 |
| SEC-N104 系列 | DeviceNet™通信 | 符合ODVA標準 |
| SEC-N105 系列 | CC-Link®通信 模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA | 符合CC-Link®標準24VDC（13至32VDC） |
| SEC-N106 系列 | PROFIBUS™通信 模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA | 符合PROFIBUS™標準24VDC（13至32VDC） |
| SEC-N107 | EtherCAT®通信 | 符合EtherCAT®標準24VDC |
半導體制程設(shè)備（如 CVD、Etching、PVD）
光電子器件制造
OLED 面板制程
醫(yī)療與生物制藥氣體控制
化學反應過程氣體定量注入
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