HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。該質量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

產(chǎn)品型號：SEC-N100

更新時間：2025-04-07

廠商性質：代理商

訪問量：401

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HORIBA 質量流量計：高精度氣體流量控制器

HORIBA質量流量控制器的工作原理

質量流量計的技術優(yōu)勢與應用

電導率儀的工作原理與典型應用

產(chǎn)品介紹

品牌	HORIBA/堀場	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	質量式	介質分類	氣體
產(chǎn)地類別	進口	應用領域	環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件
控制范圍	10 SCCM 至 1000 SLM多種量程可選	通信模式和電源	多種可選
精度	+/- 1.0%	響應時間	1s
功能	多氣體/多量程

HORIBA SEC-N100 系列數(shù)字式質量流量控制器

產(chǎn)品概述

SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數(shù)字式質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應用于半導體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫(yī)藥等領域。該系列支持多種通信協(xié)議，具有較高的精度、快速響應能力和強大的多氣體、多量程適應能力，是新一代工藝控制系統(tǒng)的理想選擇。

產(chǎn)品特點

支持多種通信方式

數(shù)字/模擬通信
DeviceNet™
CC-Link™
PROFIBUS™
EtherCAT®

高精度流量控制

控制精度達 ±1.0% of Set Point (*1)
重復性好，穩(wěn)定性高

快速響應性能

響應時間：≤1秒（T98）
可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩(wěn)定輸出

多氣體/多量程功能

支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設定
降低庫存成本，提高設備通用性和靈活性

高可靠性設計

無運動部件結構，可靠性更高，適合長期穩(wěn)定運行
緊湊型設計，適配多種系統(tǒng)集成環(huán)境

技術規(guī)格

規(guī)格	選擇通信模式	選擇電源
SEC-N102 系列	數(shù)字通信 ?RS485 F-NET協(xié)議模擬通信 ?0?5VDC	±15VDC（±5%） HORIBA的陣容包括租賃電源PE系列。
SEC-N104 系列	DeviceNet™通信	符合ODVA標準
SEC-N105 系列	CC-Link®通信模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合CC-Link®標準24VDC（13至32VDC）
SEC-N106 系列	PROFIBUS™通信模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合PROFIBUS™標準24VDC（13至32VDC）
SEC-N107	EtherCAT®通信	符合EtherCAT®標準24VDC