HORIBA 氣體質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），隸屬于 HORIBA Z500X 系列，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景。

HORIBA 氣體質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z522MGX 

產(chǎn)品概述

HORIBA 氣體質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），隸屬于 HORIBA Z500X 系列，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景。其精密度高、響應(yīng)速度快、兼容性強(qiáng)，是實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性氣體輸送控制的理想選擇。

主要特點(diǎn)

• 多氣體 / 多量程支持：用戶可現(xiàn)場(chǎng)切換氣體類型與滿量程范圍，無(wú)需更換本體；

• 高精度控制：低至 ±1.0% S.P. 的設(shè)定精度，重復(fù)性高達(dá) ±0.2% F.S.；

• 高速響應(yīng)：1 秒內(nèi)快速響應(yīng)，適用于動(dòng)態(tài)過(guò)程控制；

• 數(shù)字通信接口：支持 RS-485（F-NET 協(xié)議）或可選 DeviceNet、EtherCAT 等；

• 316L 不銹鋼接液材質(zhì)：適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容；

• 多種接頭接口：支持 1/4 英寸 VCR、IGS 及定制接口；

• 安裝方向不受限制：便于系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)。

技術(shù)參數(shù)

• 最大流量范圍：可達(dá) 50 SLM（以氮?dú)鉃榛鶞?zhǔn)計(jì)算）。

• 控制范圍：可在滿量程的 2% 至 100% 之間穩(wěn)定控制。

• 測(cè)量范圍：0% 至 100% 滿量程。

• 控制精度：

• 當(dāng)流量大于 25% 滿量程時(shí)，控制精度為 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)（Set Point）。

• 當(dāng)流量小于或等于 25% 滿量程時(shí)，控制精度為 ±0.25% 滿量程（Full Scale）。

• 響應(yīng)時(shí)間：小于 1 秒，適用于快速動(dòng)態(tài)氣體控制。

• 重復(fù)性：±0.2% 滿量程，確保批次一致性。

• 線性度：±0.5% 滿量程，適用于精密工藝控制。

• 工作溫度范圍：5°C 至 50°C（推薦使用范圍為 15°C 至 45°C）。

• 工作壓差范圍：50 至 300 kPa（差壓）。

• 最大工作壓力：最高可達(dá) 450 kPa（表壓），設(shè)備耐壓上限為 1000 kPa。

• 泄漏率：氦氣測(cè)試泄漏率小于或等于 5 × 10?12 Pa·m3/s，適用于高潔凈等級(jí)要求。

• 電源要求：+15V ±5% 和 -15V ±5%，各需 150 mA。

• 通信接口：標(biāo)準(zhǔn)支持 RS-485（F-NET 協(xié)議），可選 DeviceNet、EtherCAT 協(xié)議版本。

• 接液材質(zhì)：316L 不銹鋼，內(nèi)部表面鏡面拋光處理，耐腐蝕性優(yōu)異。

• 接口形式：標(biāo)準(zhǔn)為 1/4 英寸 VCR 接頭，亦可選配 IGS 或定制接口。

• 安裝方向：不受限制，適應(yīng)各類設(shè)備布置需求。

• 閥門類型：常閉（Normally Closed, C 型）或常開（Normally Open, O 型），視型號(hào)配置而定。

• 多氣體 / 多量程功能：支持通過(guò)軟件自由切換氣體類型與滿量程設(shè)定，提升系統(tǒng)兼容性與維護(hù)便利性。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造中的氣體輸送與刻蝕工藝

• 光通信器件的高純氣體控制

• 生物、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室高精氣體流量控制

• 化學(xué)反應(yīng)過(guò)程自動(dòng)化氣體管理