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產品型號：
更新時間：2025-05-20
廠商性質：代理商
訪問量：328
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| 品牌 | KASHIYAMA/日本 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 真空泵 | 產品類型 | 無油泵 |
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 食品/農產品,能源,制藥/生物制藥,綜合 |
KASHIYAMA SDE90TX 真空泵 是日本樫山工業（Kashiyama Industries, Ltd.）推出的一款高性能干式真空泵，隸屬于 SDE 系列，專為應對半導體、顯示器、化學氣相沉積（CVD）等苛刻工藝環境而設計。
最大抽速：1,300 L/min
極限壓力：1.3 Pa（不加氮氣時）
輸入電壓：三相 AC200–220V，50/60Hz
功耗：約 1.3 kW
外形尺寸：約 690 mm × 370 mm × 501 mm
整機重量：約 130 kg
大抽速性能：最大抽速可達 1,300 L/min，滿足苛刻工藝對真空效率的高要求。
低極限壓力：極限真空度低至 1.3 Pa，在未使用氮氣吹掃時亦可維持高性能穩定運行。
干式運行設計：無油結構避免了污染風險，特別適合潔凈室環境和高純度工藝。
高可靠性結構：垂直安裝的雙螺桿結構可有效防止顆粒堆積，延長泵體壽命。
適應惡劣氣氛：配備高耐腐蝕材料與溫控系統，適用于處理腐蝕性和反應性氣體。
半導體蝕刻設備（Etch）
化學氣相沉積（CVD、PE-CVD、LP-CVD、SA-CVD）
原子層沉積（ALD）
OLED 與液晶面板制造
精密薄膜沉積與剝離工藝
實驗室與潔凈室真空系統
前級加熱排氣配管系統：防止冷凝和積碳，增強系統穩定性。
多級溫控系統：根據不同應用調節泵體溫度，提高兼容性。
除害裝置聯動接口：支持等離子、燃燒、冷凝等除害方式接入，提升環保性能。
遠程監控與報警系統：實時掌握泵體運行狀態，便于系統集成與自動化管理。
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